Ontwerpkarakteristieken van vacuümcoatingmachine multi-roterende schijfvergelijkingsapparatuur

1) The formulation of cylindrical shape, large diameter, and thin-walled structure of fixed cylinder 3 and the determination method of axial symmetry can ensure that it has sufficient strength and bending stiffness, and at the same time, it can also prevent high-temperature magnetron sputtering The wear-resistant material pollutes the environment of its internal structural parts, ensuring the operational flexibility of the rotation of the rotating disc 15 .
2) het ontwerpschema van de ringvormige zitting 2 zorgt voor de afdichtingsprestaties en verticale hoek van de zittende lagerinstallatie; Verdekt de specificatie van de diameter van de as 1, verhoogt het installatie -interval tussen de twee rollende lagers in de zittende lager 2 en verbetert zijn eigen sterkte en buigstijfheid, om de buigstijfheid van de as 1 na het hele rotatieproces te waarborgen, de flexibiliteit van de rotatie -werking van de rotatie -disk 15 en de consistentie van herhaalde delen.
3) Het dragen van het verwisselbare weefsel, volgens de diameter van de geëxpandeerde ondersteuningsplaat 16, kan de redelijke totale oppervlakte van het weefsel in de vlakke kijkhoek vergroten en een vergelijkend stuk met een grote diameter (φ26,5 mm) worden geïnstalleerd, die gunstig is voor de lusafstelling en de kwaliteit van de optische film; Het relatieve blad 12 is gemaakt van gelamineerd glas van het blad als een vergelijkende bladmodule, en het vergelijkende blad neemt de driedimensionale accumulatieve installatiemethode in de binnenruimte aan. De film wordt vergeleken met de film, die het probleem oplost dat de optische film met dubbele lager wordt bekleed door de coatingapparatuur, en het aantal films is relatief klein, wat het aantal bovenopgestelde lagen en precisie van de coating op het oppervlak beïnvloedt.
4) Samenwerken met de positioneringsplaat 6 en de slot-type optische koppeling 17, herkent de drie gemiddelde 120 ° dubbele spleten op de positioneringsplaat volgens de optische koppeling van het slot-type en regelen de rotatie van de motor om te stoppen. De consistentie van de precieze positionering van de rotatie van de as 1 wordt herhaaldelijk gewaarborgd en de roterende schijf 15 wordt geduwd om een ​​nauwkeurige uittrekbare houding uit te voeren.
5) Het roterende afdichtingsvoermechanisme introduceert het Wilson-afdichtingsmechanisme 5, dat niet alleen de gevoelige rotatie van de motor 9 zorgt om de as 1 aan te drijven volgens het versnellingspoel, maar ook het afdichtingseffect van de vacuümkamer voor de buitenwereld zorgt. De geoptimaliseerde vacuümcoatingmachine met schijven met meerdere roterende is een relatief dunne filmapparatuur. De kenmerken ervan zijn: (1) eenvoudige structuur, hoge druksterkte en goede stabiliteit; Optische film; (3) vergeleken met de uitbreiding van de filmdiameter, is de precisie van plastic filmtoezicht verbeterd, de vereisten voor hardwaresysteem worden verminderd en de systeemsoftware is zeer eenvoudig om het automatische besturingssysteem te voltooien; (4) De onderhoudskosten zijn laag.
Volgens de optimalisatie van devacuümcoatingmachineMulti-roterend mesvergelijkingsapparaat, het zorgt voor de coördinatie en herhaalde consistentie van de rotatie van de relatieve messtructuur, en lost het probleem op dat het relatieve gebied klein is, de lusaanpassing is onhandig en de optische signaalfrequentie is stabiel. Het lost het probleem van een slechte breedtegraad op en lost het probleem op van minder totaal aantal vellen, wat de kwaliteit van optische films kan verbeteren die worden bekleed door de originele vacuümcoatingmachine, en meer dan 30 lagen optische films kunnen worden bekleed. Praktische ervaring heeft bewezen dat deze vergelijkende bladstructuur effectief is en goed kan worden op de markt gebracht en geïmplementeerd op het gebied van elektronische optische vacuümcoatingmachines vandaag.