Drukbeheersingsprincipe van vacuümcoatingapparatuur

1.. Achtergrondintroductie
Vacuümcoatingapparatuur is een soort apparatuur die veel wordt gebruikt in de industriële productie. De belangrijkste functie is om het materiaal dat moet worden bedekt in de vacuümcoatingkamer, en door de reactie onder hoge temperatuur en hoge vacuümomgeving wordt de filmlaag gelijkmatig afgezet op het oppervlak van het materiaal. en vorm een ​​bepaalde coatinglaag met speciale functies en kenmerken. Onder hen zijn de vacuümdiploma en de hechtingssnelheid in de apparatuur belangrijke indicatoren die de kwaliteit van de coatinglaag beïnvloeden, en de stabiliteit van de vacuümgraad hangt af van de drukregeling in de apparatuur.
2. Principe van drukregeling van vacuümcoatingapparatuur
1. Definitie van vacuüm graad
Voordat het principe van drukcontrole wordt geïntroduceerd, is het noodzakelijk om te introduceren wat vacuüm is. In de natuurkunde verwijst vacuüm naar een gasomgeving waarvan de druk minder is dan atmosferische druk, dus de mate van vacuüm verwijst naar de gasdruk in een bepaalde ruimte. Over het algemeen wordt vacuüm meestal gemeten in Pascals (PA) of meters bar (MBAR). In vacuümcoatingapparatuur is het gebruikelijke vacuümbereik 10^-6pa ~ 10^-2pa.
2. Het principe van drukcontrole
Wanneer het vacuüm te hoog of te laag is, heeft dit invloed op de normale werking van de apparatuur. Daarom is het noodzakelijk om het vacuümniveau in de apparatuur via een bepaalde methode te regelen. Onder hen is drukregeling een relatief eenvoudige en efficiënte controlemethode. In het bijzonder is het principe van drukregeling om een ​​drukcontroller te gebruiken om de gasstroomsnelheid in de apparatuur te regelen door de druk van het gereguleerde uiteinde te detecteren en vervolgens door het feedbackmechanisme, door de opening van de klep te regelen, om het doel van het regelen van de druk te bereiken.
3. De basissamenstelling van de drukcontroller
In vacuümcoatingapparatuur wordt een drukcontroller in het algemeen gebruikt om de druk te regelen. De basissamenstelling omvat vier delen: detectiesensor, controller, actuator en besturingssysteem.
Detectiesensor: het wordt voornamelijk gebruikt om de drukverandering van het gereguleerde uiteinde te detecteren en om te zetten in een overeenkomstige elektrische signaaluitgang voor gebruik door de controller.
Controller: het ontvangt voornamelijk de elektrische signaaluitgang door de sensor, verwerkt en analyseert deze en voedt vervolgens het analyseresultaat terug naar de actuator om de openingsgraad van de actuator te regelen.
Actuator: het regelt voornamelijk de stroomsnelheid van gas in de apparatuur door de openingsgraad van de klep te regelen, om het doel te bereiken om de druk te regelen.
Controlesysteem: het wordt voornamelijk gebruikt om verschillende indicatoren in de apparatuur, zoals temperatuur, vacuümdiploma, enz. Te controleren en een reeks controlestrategieën te maken.
3. Samenvatting
Samenvattend is het principe van drukcontrole in vacuümcoatingapparatuur om de druk in de apparatuur te regelen via een relatief eenvoudig en efficiënt feedbackmechanisme. Om een ​​dergelijk stabiel besturingssysteem vast te stellen, vereist de technische ondersteuning van verschillende aspecten van het apparatuurbesturingssysteem, zoals parameterbewaking, besturingsalgoritme, actuatorbesturing, systeemkoppeling, enz. Deze technische factoren vereisen de samenwerking van bepaald professioneel en technisch personeel om ervoor te zorgen dat de apparatuur meer uitstekende prestaties kan vertonen.