Begrijp hoe het vacuümcoatingproces wordt gerealiseerd

Vacuümcoatingis een proces dat wordt gebruikt om hoogwaardige dunne-filmmaterialen te produceren. Het produceert dunne films door organische of anorganische materialen thermisch te verdampen of te sputteren op het oppervlak van een substraat onder vacuümomstandigheden. Dit artikel zal de implementatie van vacuümcoating in detail introduceren.

Het vacuümcoatingproces bevat de volgende stappen:

1. Kies het juiste substraat en materiaal

Het kiezen van het juiste substraat en materiaal is de eerste stap in vacuümcoating. Het substraat kan glas, plastic, metaal of andere nanomaterialen zijn. Materialen kunnen organisch of anorganisch zijn, zoals metalen, halfgeleiders, oxiden of nitriden.

2. Laad het vacuümcoatingsysteem

De tweede stap is om het substraat en de materialen in het vacuümcoatsysteem te laden. Het vacuümcoatsysteem omvat een vacuümkamer, een metaalverdamper, een sputter en een besturingssysteem. De vacuümkamer is een gesloten ruimte die wordt gebruikt om een ​​vacuümomgeving te behouden, metaalverdampers en sputters zijn apparaten die worden gebruikt om materialen op substraten te verdampen of te sputteren, en het besturingssysteem wordt gebruikt om de vacuümomgeving en materiaalverdamping of sputtersnelheid aan te passen en aan te passen.

3. Vacuüm

Na het laden van het materiaal en het substraat moet de vacuümkamer worden geëvacueerd. Stoffen is een zeer belangrijke stap, omdat het handhaven van een lage druk en een hoge zuiverheidsomgeving de kwaliteit van het membraan kan garanderen. De vacuümomgeving is meestal lager dan 10^-6 mbar om gasmoleculen en andere verontreinigende stoffen uit te sluiten.

4. Materiaalverdamping of sputteren

Wanneer de vacuümomgeving de gewenste druk bereikt, kan het materiaal worden verdampt of op het substraat worden gesputterd. Er zijn twee methoden voor materiaalverdamping: thermische verdamping en elektronenstraalverdamping. Sputeren heeft ook twee methoden: magnetron sputteren en boog sputteren. Welke methode ook wordt gebruikt, de materiaalverdamping of sputtersnelheid en filmdikte moeten worden geregeld.

5. Meer meerlagige film

Zodra een single-layer membraan is gefabriceerd, kunnen meerdere lagen samen worden gestapeld om een ​​composiet te vormen. Verschillende materialen en depositieprocessen kunnen worden gebruikt, zoals afwisselende afzetting, co-afzetting van multi-gun materiaal en gezoneerde afzetting.

6. Testmembraankwaliteit

De laatste stap is om de kwaliteit van het membraan te testen. Tests kunnen onder andere dikte, fysische eigenschappen, optische eigenschappen en elektrische eigenschappen zijn. Bepaal of het membraanmateriaal aan de vereisten voldoet aan de testresultaten.

Kortom, vacuümcoatingtechnologie is een methode om dunne films van hoge kwaliteit te bereiken. Het moet het juiste substraat en materiaal selecteren, het vacuümcoatsysteem laden, stofzuigen, materiaal verdampen of sputteren, meerlagige film maken en de filmkwaliteit testen. Vacuümcoatingtechnologie is veel gebruikt in elektronica, optica, medische en energievelden.